潔凈室及凈化設(shè)備專用過(guò)濾器
潔凈室及凈化設(shè)備專用過(guò)濾器
21世紀(jì),什么最重要,健康。微電子工業(yè)工序復(fù)雜性的增加和產(chǎn)品制程線寬的縮小,氣態(tài)分子污染物(AMC)對(duì)產(chǎn)品的影響成為潔凈室環(huán)境控制中重點(diǎn)關(guān)注的問(wèn)題.為清除空氣中的AMC,過(guò)濾器廠家推出了化學(xué)過(guò)濾器產(chǎn)品。我們介紹了AMC的分類(lèi)和監(jiān)測(cè)方法,化學(xué)過(guò)濾器原理和結(jié)構(gòu),以及在潔凈空調(diào)中的應(yīng)用。
(一)、過(guò)濾器的基本知識(shí)和過(guò)濾器的選擇
1. 過(guò)濾器的分類(lèi):按過(guò)濾器的性能(效率、阻力、容塵量)進(jìn)行分類(lèi),根據(jù)我國(guó)有關(guān)規(guī)范可將過(guò)濾器劃分為粗效、中效、高效、亞高效、高效和超高效六大類(lèi)。2. 各類(lèi)過(guò)濾器效率的測(cè)試方法對(duì)于空氣過(guò)濾器的效率而言,相同的過(guò)濾器其效率的測(cè)試方法不同它們的效率的值也不相同,因此使用過(guò)濾器時(shí)不僅僅要了解其過(guò)濾效率,而且還要知道它們效率的測(cè)試方法。
>> 一般通風(fēng)用粗效、中效、高中效過(guò)濾器效率的測(cè)試方法
1、計(jì)重法:有人工塵計(jì)重法和大氣塵計(jì)重法,此方法源于美國(guó),國(guó)際流行,多用于粗效過(guò)濾器的效率測(cè)試。
2、比色法:源于美國(guó),國(guó)際通行,用于中效過(guò)濾器的效率測(cè)試。
3、 人工塵計(jì)數(shù)法:歐洲通行,將取代比色法,用于中效測(cè)試。
4、 大氣塵計(jì)數(shù)法:我國(guó)的標(biāo)準(zhǔn)。
>> 高效過(guò)濾器測(cè)試方法
1、 鈉焰法:中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)。
2、 DOP 法:源于美國(guó),國(guó)際通行。
3、 油霧法:俄國(guó)標(biāo)準(zhǔn),在德國(guó)和我國(guó)也通行。
4MPPS 法:歐洲標(biāo)準(zhǔn)將取代上述各種方法(最低透過(guò)率粒徑法)。
3. 各類(lèi)空氣過(guò)濾器的功能和作用
各種過(guò)濾器都具有一定的功能,都不是萬(wàn)能的。它的功能就決定了它的作用和使用范圍。對(duì)其選用正確,使用合理,它們就能充分發(fā)揮功能,起到應(yīng)起的作用;如果選用不當(dāng),使用不合理,不僅不能發(fā)揮其作用,有時(shí)還會(huì)產(chǎn)生相反的后果。它們的功能和作用如下:
1、 粗效過(guò)濾器:其功能是去除≥5μm 的塵埃粒子,在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為預(yù)過(guò)濾器。其作用是保護(hù)中效.高效過(guò)濾器和空調(diào)箱內(nèi)的其他配件以延長(zhǎng)它們的使用壽命。
2、 中效過(guò)濾器:其功能是去除≥1.0μm 的塵埃粒子,在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為中間過(guò)濾器。其作用是減少高效過(guò)濾器的負(fù)荷,延長(zhǎng)高效和空調(diào)箱內(nèi)配件的使用壽命。
3、高中效過(guò)濾器:其功能是去除≥1.0μm 的塵埃粒子,在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為中間過(guò)濾器,在一般通風(fēng)系統(tǒng)中可作為終端過(guò)濾器。
4、 亞高效過(guò)濾器:其功能是去除≥0.5μm 的塵埃粒子,在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作中間過(guò)濾器,在低級(jí)凈化系統(tǒng)中可做終端過(guò)濾器使用。
5、 高效過(guò)濾器:是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的終端過(guò)濾器,它的功能是去除≥0.3μm 的塵埃粒子,達(dá)到凈化目的。是潔凈室必備的凈化設(shè)備。
6、超高效過(guò)濾器:其功能是去除≥0.1μm 的塵埃粒子,是建造高級(jí)別潔凈室(0.1μm 潔凈室)的必備凈化設(shè)備,是該潔凈室的終端凈化設(shè)備。
(二)、空氣處理機(jī)組的選擇
空氣處理機(jī)組包括空調(diào)器(AHU)、新風(fēng)機(jī)組( MAU)和循環(huán)機(jī)組(RAU),都是空調(diào)凈化系統(tǒng)常用的空氣熱濕交換和空氣凈化處理設(shè)備。
1.工業(yè)潔凈室用空調(diào)機(jī)組
工業(yè)潔凈廠房的空氣處理機(jī)組是服務(wù)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的,因此空氣處理機(jī)組也必須滿足凈化空調(diào)所需的特點(diǎn)。
>> 工業(yè)潔凈室的溫、濕度和潔凈度要求嚴(yán)格,一般情況室內(nèi)熱負(fù)荷很大、空氣處理的焓差很
大、冷卻后的空氣的露點(diǎn)溫度很低,因此空氣處理機(jī)組的保溫性能要好(保溫材料為聚苯乙烯或聚氨脂發(fā)泡時(shí)保溫層厚度 ≥40mm),防止表面結(jié)露,冷耗過(guò)大;同時(shí)還應(yīng)避免冷橋現(xiàn)象的產(chǎn)生。
>> 因凈化空調(diào)系統(tǒng)總阻力較大,故要求空調(diào)機(jī)組的風(fēng)機(jī)壓頭很高(≈1500Pa),因此隨之要求空調(diào)機(jī)組圍護(hù)板壁的強(qiáng)度和剛度要好,不要產(chǎn)生負(fù)壓段凹進(jìn)去,正壓段凸出來(lái)的變形。
>> 為了減少冷損失和漏風(fēng),則要求空調(diào)機(jī)組的密封性能好,特別是段與段的聯(lián)接處和門(mén)開(kāi)啟處的密封。按標(biāo)準(zhǔn)要求空調(diào)機(jī)組的漏風(fēng)率≤1%。
>> 為了保證潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度,并且盡量節(jié)省能量,要求空調(diào)機(jī)組有較好的自動(dòng)控制,如風(fēng)機(jī)的變頻等。又因?yàn)榭諝獾睦?、熱、濕處理的功能較多,故空調(diào)機(jī)組體形較大、長(zhǎng)度較長(zhǎng)。
2.生物潔凈室用空調(diào)機(jī)組
生物潔凈室是以微生物(細(xì)菌、病毒等)為主要研究對(duì)象的,微生物與塵埃粒子不同,它是活的、不斷生長(zhǎng)繁殖的粒子,因此服務(wù)于生物潔凈室的空氣處理機(jī)組應(yīng)具備如下特點(diǎn):
>> 為了方便滅菌、消毒、空調(diào)機(jī)組的內(nèi)表面以及內(nèi)部的零配件應(yīng)耐消毒藥品的腐蝕,表面要光潔。
>> 因?yàn)槌睗袷俏⑸锷L(zhǎng)的最佳條件。因此,空調(diào)機(jī)組內(nèi)部不能集水集塵,結(jié)構(gòu)要方便排水;表冷器凝結(jié)水應(yīng)設(shè)有自動(dòng)防倒吸功能,并順利排出凝結(jié)水;更不能采用淋水段。
>> 空調(diào)機(jī)組的加濕只能采用干蒸汽加濕器(電極式或電熱式蒸汽加濕器),而不能使用濕膜、超聲波和高壓噴霧等有水的加濕器。
>> 為了防止空氣帶水,空調(diào)器表冷器的斷面風(fēng)速 V < 2.0m/s。
>> 空調(diào)機(jī)組的密封要可靠,其漏風(fēng)率≤1%。
>> 空調(diào)機(jī)組的強(qiáng)度和剛度要好,有一定的承壓能力。
>> 各級(jí)(粗效、中效、亞高效)過(guò)濾器的過(guò)濾效率要高,而且最好采用一次性的拋棄型過(guò)濾器。
3、表冷器、加熱器、加濕器的選擇
① 表冷器是空調(diào)機(jī)組降溫去濕的關(guān)鍵設(shè)備,一般表冷器由銅管和鋁翅片構(gòu)成。表冷器的換熱面積(排數(shù))要經(jīng)計(jì)算求得,在設(shè)計(jì)中,設(shè)計(jì)人員要把空氣經(jīng)表冷器處理前后的參數(shù)(溫度、相對(duì)濕度或焓)以及冷凍水的供回水溫度提供給供貨商,由供貨商計(jì)算和配置表冷器。表冷器后面要設(shè)擋水板,表冷器下部設(shè)滴水盤(pán),凝結(jié)水排水要通暢,排水管上要合理地設(shè)置水封。水封的高度要與空調(diào)器內(nèi)的壓力相匹配。
② 加熱器是空調(diào)機(jī)組中的加熱設(shè)備。在空調(diào)機(jī)組中有一次加熱(預(yù)熱)和二次加熱(再熱)兩組。加熱的熱媒有蒸汽、熱水和電。
>> 一次加熱(預(yù)熱)器設(shè)置在新風(fēng)進(jìn)入空調(diào)機(jī)組處,其目的是為了防凍和防混合結(jié)霜、結(jié)霧 。
因此,一次加熱器一般用在北方(長(zhǎng)江以北)較冷的地區(qū)。長(zhǎng)江以南不會(huì)結(jié)凍的地區(qū)可不設(shè)一次加熱器。一次加熱后的新風(fēng)溫度一般為+5℃。用加熱器后的溫度探頭來(lái)控加熱量。一次加熱的熱媒最好是蒸汽和電,如果用熱水做熱媒要考慮加熱器本身的防凍問(wèn)題。
>> 二次加熱(再熱)器設(shè)在表冷器之后,設(shè)置目的是為了調(diào)節(jié)潔凈廠房?jī)?nèi)的溫、濕度以達(dá)
到設(shè)計(jì)參數(shù)。因?yàn)椋渭訜崃吭叫【驮焦?jié)省空調(diào)的運(yùn)行費(fèi)用,故在設(shè)計(jì)時(shí)要選擇二次加熱量較小的節(jié)能方案。二次加熱的熱媒最好用熱水,因?yàn)闊崴跍?、濕調(diào)節(jié)時(shí)比較穩(wěn)定可靠。
>> 當(dāng)潔凈廠房的溫、濕度精度要求極高和非常嚴(yán)格時(shí),為了確保其參數(shù)有時(shí)在風(fēng)管上還要
設(shè)置微調(diào)的電加熱器。
③ 加濕器是空調(diào)機(jī)組中的加濕設(shè)備,在冬季時(shí)為了保證潔凈廠房?jī)?nèi)必要的相對(duì)濕度,必須對(duì)空調(diào)送風(fēng)進(jìn)行必要的加濕。
加濕器一般有兩種,一種是以水為加濕源的等焓加濕。如濕膜、淋水、超聲波、高壓噴霧等加濕器。這種加濕方法簡(jiǎn)單、價(jià)格便宜,加濕量也大,但其加濕的精度較差。一般相對(duì)濕度要求在 >10%的情況下用得較多。水加濕的方法不應(yīng)用在生物潔凈室。因?yàn)椋訚駮?huì)給微生物提供良好生存繁殖條件。
另一種加濕方法是以蒸汽為加濕源的等溫加濕。如蒸汽加濕器、干蒸汽加濕器、電極式(電熱式)蒸汽加濕器等。這種加濕方法必須有蒸汽源,如果沒(méi)有蒸汽必須用電來(lái)產(chǎn)生蒸汽。此種加濕方法價(jià)格較高,但加濕精度很高,當(dāng)相對(duì)濕度要求≤±5%時(shí)應(yīng)采用等溫加濕方法。它廣泛應(yīng)用在電子工業(yè)的潔凈廠房和生物潔凈室的加濕中。
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